Reactive sputtering applied to microelectronic devices
- Författare
- Torbjörn Larsson
- (Torbjörn Larsson., Härtill 11 uppsatser)
- Genre
- theses, Avhandlingar
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Univ., Almqvist & Wiksell International distributör, Reklam & katalogtr. | 1988 | Sverige, Uppsala, Stockholm, Uppsala | 20 sidor. diagr. 21 cm |